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常见问题
如何处理切片机出现的飞片现象

来源: 时间:2018-08-30 15:50:14 次数:

维护和调整的主轴和刀环,微电脑切片机在后面的部分如果晶片边缘塌陷的现象,这种情况很可能是由圆刀造成的,通过以上分析,我们知道在部分由于圆形叶片振动和由晶片振动导致崩边现象的产生摩擦的存在。同时,再切割的方法可以通过调整叶片边缘的同轴度,或消除芯片边缘用刀方法断裂现象。
维护和调整的主轴和刀环,微电脑切片机在后面的部分如果晶片边缘塌陷的现象,这种情况很可能是由圆刀造成的,通过以上分析,我们知道在部分由于圆形叶片振动和由晶片振动导致崩边现象的产生摩擦的存在。同时,再切割的方法可以通过调整叶片边缘的同轴度,或消除芯片边缘用刀方法断裂现象。
飞片现象是指硅片切割过程中的切屑现象。这种现象特别容易发生时,切割和晶圆切割端到石墨板。这是因为叶片对晶片的摩擦力太大,导致石墨板无法承受,导致刀片被电脑切片机刀片带走。
从以上分析,切削液在电脑切片机叶片与硅片机叶片之间,叶片上有摩擦作用,对硅片的摩擦力和切削面积和切削液流量成正比,因此通过减少切削液流动来解决飞现象。从实际操作中我们发现,当切割硅片的切边有切削液滴时,也会很容易脱下现象,因为切削液流动过大,使摩擦力增大,从而造成飞片现象。因此,切削液流量不宜过大,可以满足微电脑切片机切削刃的冷却和润滑的流动需要。
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